Лаборатория вакуумных технологий (товарный знак Beams&Plasmas) с 2013 года разрабатывает и производит вакуумное технологическое оборудование для научных исследований и различных отраслей промышленности: микроэлектроника, машиностроение, космические технологии.
Основными видами выпускаемых устройств являются:
- магнетронные распылительные системы (МРС, магнетроны), специализированные под напыление различных материалов, а также сверхскоростные напылительные магнетроны, обеспечивающие скорость осаждения металлов до 40 мкм/мин;
- ионные источники с холодным катодом, обеспечивающие линейную плотность тока до 25 мА/см длины рабочей зоны;
- электронные пушки с блоками питания и управления электронным лучом, мощностью от 50 до 500 кВт, предназначенные для решения задач вакуумного напыления и электронно-лучевой плавки металлов;
- высокочастотные генераторы плазмы, которые обеспечивают создание плотной низкотемпературной плазмы, являющейся универсальной технологической средой.
Мы выпускаем 3 серии напылительных и плазмохимических установок восьми различных модификаций (ИН, ТН, РС, ПС, МО/МТ, ПХО, ПХТ). Основное отличие установок "Ника" - интуитивно понятный интерфейс, высокие эксплуатационные характеристики и надежность.
Выпускаемая продукция предназначена для реализации задач:
- ионно-плазменная обработка поверхности;
- азотирование и карбонитрирование;
- ионное ассистирование;
- осаждение материалов в ионизованном состоянии (Ionized Vapour Deposition);
- плазмохимическое травление и осаждение.